Produkte
- Steifer und kompakter Aufbau
- Optimierte Ablaufgenauigkeiten
- Integriertes Kabelmanagement
- Kundenspezifische Servotechnik






Das speziell auf Kundenwünsche entwickelte Linearsystem vereint Präzision und Prozessstabilität. Für die Realisierung der anspruchsvollen Ablaufgenauigkeiten der optischen Prüfeinrichtungen wurde ein Hochpräzisions-Kugelgewindetrieb in Kombination mit hochsteifen Rollenumlaufführungen eingesetzt. Neben dem integrierten Kabelmanagement wurde eine kundenseitige Verschlauchung und Verrohrung implementiert. Dadurch konnte die gewünschte Vakuum-Durchführung sichergestellt werden. Für ein einfaches Plug & Play wurde alles für die kundenspezifische Servotechnik konfektioniert.
Neben den üblichen Kundenanforderungen wie bewegte Masse, kürzeste Verfahrbereiche, Zyklusdefinitionen, uvm. mussten zusätzliche Eigenschaften berücksichtigt werden. Diese waren bspw.:
- Große Wartungsintervalle
- Kundenspezifische Burn-In Tests
- Elektrische Ableitfähigkeit (ESD)
- Vorbereitung einer Zentralschmierung
- optische Prüfeinrichtungen
- AOI-Handlings
- Optische Wafertestanlagen
- Kameraverstellungen
- Laserbearbeitungen
- Sensorpositionierungen