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Bewegungssysteme Einachslösungen Linearsystem für optische Prüfeinrichtung
Einachslösungen
Linearsystem für optische Prüfeinrichtung
  • Steifer und kompakter Aufbau
  • Optimierte Ablaufgenauigkeiten
  • Integriertes Kabelmanagement
  • Kundenspezifische Servotechnik
Allgemeine Info
Einsatzgebiete

Das speziell auf Kundenwünsche entwickelte Linearsystem vereint Präzision und Prozessstabilität. Für die Realisierung der anspruchsvollen Ablaufgenauigkeiten der optischen Prüfeinrichtungen wurde ein Hochpräzisions-Kugelgewindetrieb in Kombination mit hochsteifen Rollenumlaufführungen eingesetzt. Neben dem integrierten Kabelmanagement wurde eine kundenseitige Verschlauchung und Verrohrung implementiert. Dadurch konnte die gewünschte Vakuum-Durchführung sichergestellt werden. Für ein einfaches Plug & Play wurde alles für die kundenspezifische Servotechnik konfektioniert.

Neben den üblichen Kundenanforderungen wie bewegte Masse, kürzeste Verfahrbereiche, Zyklusdefinitionen, uvm. mussten zusätzliche Eigenschaften berücksichtigt werden. Diese waren bspw.:

  • Große Wartungsintervalle
  • Kundenspezifische Burn-In Tests
  • Elektrische Ableitfähigkeit (ESD)
  • Vorbereitung einer Zentralschmierung
  • optische Prüfeinrichtungen
  • AOI-Handlings
  • Optische Wafertestanlagen
  • Kameraverstellungen
  • Laserbearbeitungen
  • Sensorpositionierungen