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Unterschiedliche Direktantriebstechnologien sind optimal geeignet, dass Manipulationsaufgaben in einem äußerst kleinen Raum präzise und zuverlässig realisiert werden können. Linear-Schwenk- oder Dreh-Hub-Applikationen erfordern dabei eine Kombination aus rotativer und linearer Antriebsbewegung. Die bei KML verfügbaren Antriebstechnologien werden mittels Torque- und Linearmotortechnik zu einer optimalen Bewegungslösung vereint.

Neben den üblichen Kundenanforderungen für nass-chemische Bearbeitungsprozesse mussten zusätzliche Systemanforderungen berücksichtigt werden. Diese waren bspw.:

• Kompakte Bauweise
• Einheitliche Schnittstelle (mech. /elektr.)
• Höchste Steifigkeit des Gesamtsystems gegen hochdynamische wechselwirkende Belastungen
• Rundlaufgenauigkeiten der Dreheinheit im µm-Bereich
• Spezielle Werkstoffe gegen extrem aggressive Medien (Säuren, …)
• Systemeignung für höchste Reinraumklassifizierung
• Zuverlässigkeit und Standfestigkeit
• Nahezu 100%ige Maschinenverfügbarkeit
• Wartungsfreundlich

Eine integrale und kompakte Systemlösung wurde durch zuhilfenahme modernster FEM-Methodik mit höchster Eigensteifigkeit erreicht:

• Gussgrundkörper aus verdichtetem Werkstoff
• Drehachse mit Kugelgewindetrieb für vertikal Bewegung
• Spezielle Hochgenauigkeits-Lagerhybridpaarung für Drehachse
• Hohlwellendirektantrieb sowie Servomotor-Technologie
• Vorgespannte Edelstahl-Rollenführungen
• Sonderschmierstoff für alle bewegten Bauteile
• Oberflächen-Spezialbeschichtung
• Vakuumkammersystem für Partikelunterdrückung
• 100 % Funktionskontrolle und qualifizierter Prüfprozess