Produkte
Mehrachslösungen
Gantry-Systeme
- Schwingungsdämpfende Ausführungen
- Integriertes Kabelmanagement
- Inline-Integration für Fertigungsstraßen
- Finite-Elemente-Methode (FEM) optimiert
Allgemeine Info
Einsatzgebiete
Hohe Präzision und Dynamiken über einen großen Arbeitsbereich fordern einen stabilen Aufbau und eine hochwertige Komponentenzusammenstellung. Hierzu werden von KML-Gantry-Lösungen maßgeschneidert auf die Bedürfnisse der modernen Fertigungsstraßen entwickelt und produziert. Mit diesen Lösungen können kürzeste Durchbringungszeiten realisiert werden. Dies geschieht bei gleichzeitger Reduktion der Ablauffehler im jeweiligen Point-of-Interest (POI).
Neben den üblichen Kundenanforderungen wie bewegte Masse, Verfahrbereiche, Zyklusdefinitionen, uvm. mussten zusätzliche Eigenschaften berücksichtigt werden. Diese waren bspw.:
- Temperaturstabilier Aufbau
- Höchste Ablaufgenauigkeit (Gieren/Nicken/Rollen)
- Reinraumtauglich
- Schnelle Implementierung in die vorhandene Fertigungsstraße
- Aktive Schwingungsentkopplung
- Ausführungen mit Luftlager
- Konturbearbeitung
- Bonding-Applikationen
- Prozessgeräte für die Lithografie
- Maskenbelichter
- Semiconductor
- Laserbearbeitung
